本发明公开了一种超声喷雾热解镀膜装置,包括气柜(1)、超声雾化装置、喷雾头、和带基片(2)的加热台(3),其特征是:所述气柜(1)通过进气管(4)与超声雾化装置连通,所述超声雾化装置通过管道(5)与喷雾头连通,所述喷雾头位于加热台(3)方且与加热台(3)相对应,在所述加热台(3)下方设置有XY移动平台(13),在所述超声雾化装置外设置有冷却装置。本发明具有结构设计巧妙、操作方便、成本低廉的优点,采用它不但能够长时间进行大面积薄膜的制备,使薄膜的产品面积和厚度得到控制,而且还解决了镀膜过程中滴水
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