本发明提供了一种低温制备氧化锌电子薄膜的方法,采用喷雾热分解法,包括配制前驱液、薄膜沉积步骤,其特征在于:所述前驱液为锌铵[(Zn(NH3)4](OH)2溶液。本发明以碱性的锌铵溶液为前驱液,采用喷雾热解法,以可移动加热平台作为加热源,可以在130℃左右制备出结晶性质优良的ZnO薄膜,具有不伤衬底,低成本,无污染,无毒无害,工艺简单,能大面积制膜等优点。工艺中衬底材料的选择范围大,所受限制小,若以柔性的有机薄膜为衬底,使用特殊的传送装置,可以实现卷对卷生产。
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